催化燃烧设备工作原理是将有机废气直接引入催化燃烧装置，开始阶段通过电加热器将其温度升高至反应所需要的温度，废气再催化剂的作用下反应生成无害的H2O和CO2，分解后释放出的热量通过热交换器加热进入催化床的有机废气，放热和热交换所需的热量达到平衡，在无需电加热的情况下，通过自身平衡处理掉高浓度有机废气。

在低温状态下，大风量的吸附风机把车间内的VOCs经过过滤箱过滤掉大颗粒物质，而后经过沸石分子筛转轮吸附，通过沸石转轮的气体可直接排放；当吸附有大量VOCs的沸石转轮进入高温脱附区时，小风量的热空气气体将沸石转轮上的VOCs分子脱附出来转换成高浓度废气，利用脱附风机送入后端的催化燃烧系统进行催化燃烧处理，分解产生的热量部分通过内部换热再次进入催化燃烧系统，降低能量损耗，部分分解后的气体直接排放到空气中，在此过程中，电控系统严格控制催化产生的热量，当超过设定值时通过调节脱附管路的自动阀门补冷风降低废气浓度，减少热量的生成；两部分子系统相互结合，反复循环，当无VOCs产生后可停止设备运行，同时为了设备的治理和安全，在停止催化氧化系统后需对该部分设备进行一个降温，保护设备正常使用。

RTO的燃烧方式与TO相同，只是将换热器改为蓄热陶瓷，高温燃烧气与新进废气交替进入蓄热陶瓷直接换热，热量利用率可提高到90%以上，理念先进，运行成本较低，是目前国家主推的废气治理工艺。CO是采用贵重金属催化剂降低废气中有机物与O2的反应活化能，使得有机物可以在250～350℃较低的温度就能充分氧化生成CO2和H2O，属无焰燃烧，高温氧化气通过换热器与新进废气间接换热后排掉，热量利用率一般≤75%，常用于处理吸附剂再生脱附出来的高浓废气。